靶材水浸超声波C扫描检测

设备名称：靶材水浸超声波C扫描检测

型号：C-SCAN-ARS

设备参数：板材最大2300×2600mm

管材最大：Φ171×4200mm

通过测量超声波在物体中的传播时间和距离，才可以检测并计算出被检材料的缺陷位置。超声波发射接收器产生特定频率为(5MHZ-70MHZ)的超声波，以去离子水为耦合介质向被检体传递。由于超声波的传递要求介质是连续的，所以在遇到像气泡、杂质裂纹等不连续界面时会导致超声信号发生反射，当超声波信号通过被检体时，由于材料的不同，再有缺陷或裂纹界面或出现反射波，超声波换能器接收到反射的回波，发射接收器向数据采集卡输送，经过波形信号处理最终得到一张高分辨率超声波图像。利用此技术设备来检测ITO靶材试样缺陷(溅射不均匀、裂纹、孔隙)。